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- 适用于Roll To Roll印刷制程、Thin film等薄膜制程厚度检测
- 使用3D光学探头,进行非破坏性、快速表面厚度量测与分析
- 使用陶瓷吸附平台,可将待测物吸附于平台上使表面平整,亦不对待测物造成皱褶或破损
- 3D厚度量测范围大
- 可量测透明材质
- 高静态量测重复精度
- 高动态量测重复精度
- 具备脚本功能可进行自动量测
Chroma 7505-K007薄膜厚度自动光学检测系统主要整合3D光学探头,进行非破坏性、快速表面厚度量测与分析,适用于Roll To Roll印刷制程、Thin film等薄膜制程厚度检测。同时配备陶瓷吸附平台,可将待测物吸附于平台上使表面平整,亦不对待测物造成皱褶或破损,3D厚度量测范围大、设备静态重复精度高与设备动态重复精度高,具备Recipe功能可进行自动量测,此外系统亦提供检测数据数据的存盘功能,供后续操作人员处理分析使用。