光电二极体烧机及可靠度测试系统 Model 58606

• 提供可靠度测试、寿命测试与老化测试
• 暗电流量测与崩溃电压量测
• 每层模组提供256个四象限SMU通道
• 每通道最高可达80V
• 专利无突波SMU设计可保护敏感元件
• 每个SMU通道可由软体控制做独立输出
• 各子模组可独立控制
• 各夹具(carrier)独立温度控制

Chroma 58606是专为光电二极体设计的高密度、多功能、且具备温度控制的模组式烧机及可靠度测试系统。每个模组内建256个通道的SMU，可透过程式设定不同模式的电源输出与量测。每个系统最多可安装七层模组，共有1,792个SMU通道。

 自动定电流控制模式 (ACC)

在ACC模式下，程式会将每个通道控制在预先设定的输出电流值，并达到长时间的稳定输出。即使待测物的内阻随着时间或温度产生波动，程式仍会控制SMU在整个烧机期间维持定值的电流输出。而待测物的电压值会在整个烧机期间定时的量测，并且记录下来，留待事后分析或作为出货的判断。

 烧机温度控制

专利设计的加热板能够精确地控制子模组内的温度，同时有很好的稳定性与均温性。与烤箱或温控腔(oven or chamber) 类型的雷射二极体烧机系统比较，Chroma 58606的解决方案更加精简、容易操作，并具更佳的效能且更节省能源。使用加热板的好处是，雷射二极体不会受到ESD的干扰，更少的粉尘与异物污染，以及容易维护。

 高精准探针接触

58606使用特殊探针，即使如APD般小至 70um的焊盘，也能确保接触。载具和针盘(DIB)会专为每个待测物进行订制，确保正确的接触对位以进行高精度探针接触。

 独立的子模组操作

使用者可以在不同的子模组设定不同的温度，在不同的时间开始执行烧机测试，并设定不同的烧机时长。独立操作意味着每个子模组都可以设置不同的烧机条件，并且各子模组间互不干涉，提供给使用者最多的弹性。

 保护机制及关闭个别通道

控制电路同时也包含雷射二极体的保护，不会有电流或电压的突波产生而伤害待测物；可设置各通道电流和电压的上下限保护，当触发上下限时，会即时关闭个别通道来保护待测物。当异常发生时，系统将关闭特定引发异常的通道，其他正常通道仍可正常运作。除了将保护功能设计在控制电路内，通道间的绝缘(Isolation)与静电(ESD)保护也都包含在设计内。

 通讯中断恢复后资料自动写入

老化测试资料储存在系统的电脑中，当模组与系统电脑通讯暂时中断时，资料可暂存于模组中约6~8小时，通讯恢复连线之后，暂存于模组中的资料可自动写入系统电脑，不会有资料遗失。