Chroma · 授权中国一级代理商
- 可整合到任何硅片分选机上
- 可调整式的演算法可供检测5"、6"以及单晶、多晶、准单晶等各种硅片
- 多样化介面选择可与不同设备或者MES系统连线
- 可进行金刚线切割硅片的检测
- 自我监测以及校正系统
Chroma 7201可用来检测硅片长度、宽度、对角线、边缘 夹角、导角尺寸以及导角角度等,同时也可以检测表面瑕疵。设计完善的软体以及操作介面可供使用者设定不同的检测参数来达到检测结果,同时也提供瑕疵显示以及储存功能来留待日后进行MES/CIM的分析以及整合。
- 可整合到任何硅片分选机上
- 可调整式的演算法可供检测5"、6"以及单晶、多晶、准单晶等各种硅片
- 多样化介面选择可与不同设备或者MES系统连线
- 可进行金刚线切割硅片的检测
- 自我监测以及校正系统